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这是全世界从未出现过的高科技产品,
比起荷国阿斯麦生产的5nuv光刻机,
至少要先进三个档次以!
可说到底,
所有光刻机基本原理都是一样的,
就是通过一定波长的光源,
把设计好的电路图绘制到空白晶片。
想要研发出euv光刻机,
最关键的是研发出这三个模块:
光源模块!
镜头模块!
双工件台模块!
眼下研发这个三个模块的技术已经都有了,
只需要逐项研发即可。
叶龙并没有从光源模块开始,
而是先选择了双工件台模块,
原因很简单,
双工件台机械结构复杂,
面的零件超过一万个,
而且都是非标准零件,
加工起来难度比较大,
耗费时间自然长一些,
所以叶龙决定先把双工件台图纸设计好,
在工人加工的时间里面,
叶龙再研发光源模块和镜头模块,
这样就能最有效地利用时间,
尽快把euv光刻机研发出来。
一个半小时过去,
叶龙右手终于离开鼠标,
看着屏幕面的完整设计方案,
满意地点点头,
不由得站起来伸了一个懒腰。
“双工件台设计图纸大功告成,可以交给操作工去加工了。”
拿起电话,
叶龙准备让王爱国过来,
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